我们只讨论激光器的光束质量因子M2对激光粒度仪的影响。纳米粒度仪利用光束质量因子M2评价激光束的质量具有重要特点： ① M2因子表示实际光束偏离基模高斯光束(衍射极限)的程度； ② M2因子综合描述了光束的质量，包括光束远场和近场特性； ③ 光束通过理想光学系统后M2因子不变。

Siegman引入了一个无量纲的量纳米粒度仪，光束质量因子参数，较科学合理地描述了激光光束质量，并被国际标准化组织1991年的ISO/TC172/SC9/WG1标准草案采纳，激光光束质量因子的研究和测量也成为近几年研究的热点。光束质量是衡量激光光束优劣的一项重要指标。但是，较长时间以来，光束质量一直没有确切的定义，也未建立标准的测量方法，这给科研和应用都带来不便。常用来评价光束质量的方法有：原衍射极限倍数因子、斯特列尔比、环围能量比、M2因子或其倒数K因子(光束传输因子)，各种光束质量的定义对应于不同的应用目的，所反映光束质量的侧重点也不同。激光光束质量M2因子被国际光学界所公认并由国际标准化组织(ISO)予以推荐。M2因子克服了常用光束质量评价方法的局限，用M2因子作为评价标准对激光器系统进行质量监控及辅助设计等具有十分重要的意义。